上海光学精密机械研究所:波前校准新进展 精度提升

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【上海光学精密机械研究所高端光电装备部研究团队在干涉仪测试的波前校准方法研究获进展】相关研究成果发表于 Optics Express,题为“High precision w***efront correction method in interferometer testing”。研究团队针对斐索干涉仪测试中波前误差与实际表面误差的差异,提出新的高精度光学表面波前校正方法,涵盖光学表面函数参数拟合等内容。并从多方面对该方法的误差进行深入分析。零位测试配置中离轴抛物面镜的波前校准证明其有效性,实验环形误差显著减小,离轴方向误差从 0.23λ提高到 0.05λ,非球面偏离的 PV 超过 8.5mm,在高精度光学元件检测中有重要意义。

上海光学精密机械研究所:波前校准新进展 精度提升
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